高精密勻膠機

高精密勻膠機型號：SC200-SE

主要性能指標： 
主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒  
轉動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達旋涂轉速穩定性能誤差 < ±1rpm  
轉速調節精度<1rpm，重復性< 1rpm  
工藝時間設定： 0-3,000 sec/step，時間設置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  
旋涂作業均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內（需要去除邊緣3毫米區域測量） 


 
產品外型尺寸： 
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)